洁净室烤箱红外加热器

为什么要用红外线加热取代传统对流式加热方式？ 如果你曾在半导体制造厂工作过，就会明白其中的挑战。我们需要精确控制温度，同时又不能让哪怕一粒灰尘破坏整批晶圆的质量。 长期以来，我们一直使用传统的对流式烤箱。但问题在于：为了加热一块小小的晶圆而让整个空间都变热，实在是浪费时间和能源。因此，我们转而使用...