为什么要用红外线加热取代传统对流式加热方式？
如果你曾在半导体制造厂工作过，就会明白其中的挑战。我们需要精确控制温度，同时又不能让哪怕一粒灰尘破坏整批晶圆的质量。
长期以来，我们一直使用传统的对流式烤箱。但问题在于：为了加热一块小小的晶圆而让整个空间都变热，实在是浪费时间和能源。因此，我们转而使用红外线加热灯。这种加热方式不需要让空气先变热，而是直接作用于晶圆本身。这种方式更高效、更干净，也更为合理。
减少浪费
想象一下普通烤箱的情况——你需要消耗大量能量来加热烤箱的墙壁以及内部的空间。这显然效率低下。而我们使用的短波和中波发射器则能直接针对需要加热的材料进行加热。这样就不必与室温作斗争了。当工厂24小时不停地运转时，所节省下来的电能是相当可观的。这是一种在不影响生产速度的情况下降低碳排放的简单方法。
保持环境清洁
在洁净室里，“差不多”是不被允许的。绝对不能有灯具脱落或释放有害气体到空气中。我们使用石英封装的灯泡，因为它们不会释放任何气体。此外，它们还能在极小的空间内产生大量热量。这样一来，我们就可以打造出体积更小的烤箱。对于任何工厂管理者来说，要维持的洁净区域越小，工作就越容易。
需要注意的问题及解决办法
不过，不能简单地把旧加热器换掉，然后直接使用红外线加热灯。因为红外线加热器的功率很大。如果冷却系统设计不当，就可能会造成严重问题。我们见过这样的情况：过高的热量会导致设备变形，或者因为通风不良而触发各种警报。此外，硬件只是其中的一部分，还需要有智能的控制系统。我们会将加热器与PID控制器和温度计结合使用，从而避免温度超出控制范围。这样就能防止敏感组件被损坏，减少废品，从而让工厂更加高效且环保。