如何在100级洁净室中处理热量，同时避免造成污染？ 在包装精密传感器时，我们面临着巨大的挑战：虽然需要足够的热量来完成加工，但绝不能让任何灰尘颗粒进入工作区域。在100级洁净室里，普通的加热元件简直就是“定时炸弹”——它们容易碎裂，还会释放出有害气体，从而导致芯片被毁。 为了解决这个问题，我们改用...

干燥MEMS晶圆：为何我们选择红外线加热 在处理MEMS传感器时，精度要求极高。必须将晶圆上的每一滴水分都去除，但若使用过强的热量，那些极其脆弱的微结构就可能会被破坏。 长期以来，人们一直使用热风来干燥晶圆。不过说实话，这种方法效率很低。我们现在转向红外线加热，因为没人愿意浪费大量时间等待晶圆干燥...

停止浪费时间：为何红外加热比强制风冷更适用于晶圆加工 如果你曾在芯片制造厂工作过，那么一定体会过等待的痛苦。在半导体加工领域，人们正在逐渐放弃使用强制风冷方式，转而采用精确的红外加热技术。 归根结底，关键在于热量是如何传递到晶圆上的。强制风冷其实相当于一种对流式加热器——必须先让腔室内的每一立方英...

为何我们选择使用红外固化技术来处理晶圆 说实话，没人愿意处理那些基于溶剂的干燥方式或复杂的化学催化剂。对于我们来说，“环保”并非只是宣传语而已，而是设计工具时的重要标准。因此，我们选择使用红外固化技术。这种技术利用电磁辐射来触发聚合物的聚合反应或蒸发过程，从而避免产生多余的污染物。 物理原理究竟是...

为何在氢传感器制造中放弃热风加热，转而使用红外线加热？ 如果你有过在工厂工作的经历，就知道其中的难度了。要让传感器层保持稳定，关键在于控制温度分布。多年来，我们一直依赖热风循环来加热。虽然这种方法可行，但效率较低。 最近，我们开始转向红外线加热方式。因为等待空气加热或冷却的过程会严重拖慢生产效率。...