हम वेफर प्रसंस्करण हेतु IR क्यों उपयोग में ला रहे हैं?
ईमानदारी से कहें तो, किसी को भी विलायक-आधारित विधियों या जटिल रासायनिक कारकों का उपयोग करना पसंद नहीं है। हमारी दुनिया में “पर्यावरण-अनुकूल” शब्द केवल विज्ञापनों में इस्तेमाल होने वाला शब्द नहीं है; बल्कि यह हमारे उपकरणों के निर्माण हेतु एक आवश्यक शर्त है। इसीलिए हम इन्फ्रारेड (IR) विधि का उपयोग करते हैं। इस विधि में विद्युत-चुम्बकीय विकिरण का उपयोग करके कार्य पूरा किया जाता है – बिना किसी अतिरिक्त गंदगी के।
भौतिकी का कार्य-सिद्धांत
एक सामान्य कंवेक्शन ओवन के बारे में सोचें… इसमें पहले हवा को गर्म करना होता है, जो धीमी एवं अकुशल प्रक्रिया है। लेकिन IR विधि में ऊर्जा सीधे वेफर की सतह तक पहुँच जाती है। यह बहुत ही बड़ा लाभ है… क्योंकि ऐसी स्थिति में हमें वे बड़े एयर-फ्लो सिस्टमों का उपयोग करने की आवश्यकता ही नहीं है। इससे बहुत सारी ऊर्जा बच जाती है।
प्रक्रिया को सुचारू बनाना
पुरानी विधियों में VOC-युक्त विलायकों एवं सीसा-आधारित स्टेबिलाइजरों का उपयोग होता है… जो बहुत ही हानिकारक हैं। लेकिन IR विधि में हमें ऐसे रसायनों का उपयोग ही नहीं करना पड़ता। चूँकि ऊर्जा तुरंत ही वेफर तक पहुँच जाती है, इसलिए हम UV या ऊष्मा के द्वारा ही वेफर को सुखा� सकते हैं… यह बहुत ही स्वच्छ विधि है। इससे वेफर सूख जाता है, एवं कोई विषाक्त धुआँ भी नहीं निकलता… यह बहुत ही सुरक्षित विधि है।
कठिनाइयाँ
लेकिन यह सब इतना आसान भी नहीं है… उच्च-तीव्रता वाले IR लैंपों से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… जिसे संभालना आवश्यक है। यदि आपके कूलिंग प्लेट उचित न हों, तो समस्याएँ हो सकती हैं… वेफर में विकृतियाँ आ सकती हैं… इसलिए सावधान रहना आवश्यक है। लैंप की तीव्रता एवं वेफर के तापीय गुणों के बीच संतुलन बनाना आवश्यक है… ताकि वेफर के किनारे जल न जाएँ।
हमने ऐसी प्रणालियों को डिज़ाइन किया है… जो पुरानी कंवेक्शन प्रणालियों की जगह ले सकें… इससे ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… बस यह सुनिश्चित करें कि आपके सेंसर सही तरीके से काम कर रहे हैं… क्योंकि प्रक्रिया बहुत ही तेज़ी से होती है।