もう無駄なエネルギーの消費をやめましょう：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか
半導体ウェーハの処理について正直に言えば、もしエネルギーが無駄に失われているのであれば、そのシステムの設計に問題があるということです。
一般的な石英ランプを考えてみましょう。石英ランプはエネルギーを360度全方位に放出します。つまり、支払った電力の半分は無駄になり、実質的にはウェーハではなく、ランプの後ろの空気を温めてしまっているのです。
私たちは、その問題を解決する方法を見つけました。石英製のランプの裏側に高純度の金の薄層を塗ることで、無駄になったエネルギーを元の場所に戻すのです。
なぜ金なのか？
それは、金が赤外線をより効果的に扱えるからです。安価な低品位の製品ならアルミニウムや銀を使うこともできますが、硬化や焼成に必要な極端な高温に耐えられるのは金だけです。
金は熱の流れを集中させます。その結果、ウェーハの表面により多くのエネルギーが届きますが、電気代は変わりません。まさに、より効率的なのです。
トレードオフとその対処法
より多くのエネルギーを狭い範囲に集中させると、内部の圧力が上昇します。このような状況下で、ランプの管が曲がったり、最悪の場合は破裂したりしないように、厚壁の石英を使用しています。これにより、過度な負荷に耐えられます。
ただし、冷却には注意が必要です。金のコーティングによって大量の熱が一方向に送られるため、ランプのケースやウェーハホルダーもその影響を受けます。ファンやヒートシンクが十分な性能を発揮できない場合、装置が歪んでしまう可能性があります。必ず、新しい熱流に対応できる冷却システムを用意してください。
導入方法
これらは、既存の機器に直接取り付けられるように作られています。機器を分解したり、配線を再配線したりする必要はありません。さまざまなコネクタオプションも用意されているので、簡単に接続して使用できます。
結局のところ、重要なのは効率です。1ワットあたりがシリコン表面で何か有効なことをするべきです。そうすれば、処理時間が短縮され、生産性が向上し、全体的にスムーズに動作します。