Di bilik litografi, pemanas AFM yang tidak stabil atau berubah-ubah suhunya bukan sahaja menyusahkan proses pengukuran, tetapi juga mengganggu kawalan suhu yang diperlukan. Ini akan menyebabkan wafer menjadi tidak boleh digunakan lagi. Kami membina pemanas AFM ini mengikut keperluan jurutera proses: suhu yang stabil dan konsisten di bahagian probe, serta prestasi yang baik dalam persekitaran bilik bersih.
Yang penting dari segi teknikal ialah apa yang dapat diukur. Pemanas ini mampu mengekalkan keseragaman suhu pada tahap wafer sebanyak ±0.1°C. Dengan itu, profil pemanasan bahan fotorezist akan kekal konsisten setiap kali ia digunakan. Pemanas ini sesuai digunakan dalam bilik bersih tahap 1–100, dan tidak menghasilkan sebarang zarah yang boleh merosakkan kualiti bahan yang diproses. Pemanas ini direka untuk beroperasi 24/7, dengan data kebolehpercayaan yang menunjukkan tiada masa henti yang tidak dirancang semasa proses pengeluaran. Keseragaman suhu juga terjaga dengan baik, jadi tiada perlu untuk membetulkan masalah suhu setiap kali alat tersebut digunakan.
Inilah sebabnya mengapa perkara ini penting dalam proses kerja AFM: kestabilan suhu mempengaruhi interaksi antara probe dan sampel, serta kebolehulangan pengukuran. Pemanas ini mampu mengekalkan suhu yang ditetapkan tanpa berubah-ubah, jadi keadaan termal dapat diramalkan semasa proses penilaian kualiti bahan. Ini memungkinkan pengurangan jumlah ujian yang perlu dilakukan, mempercepatkan masa proses, dan memastikan hasil pengukuran yang konsisten setiap kali alat tersebut digunakan. Kecekapan yang tinggi dicapai melalui penyambungan termal yang efektif – kurangnya haba sisa, dan beban penyejukan yang lebih rendah dalam alat tersebut.
Sebelum memesan, pastikan spesifikasi mekanikal dan antaramuka elektrik sesuai dengan versi AFM yang anda gunakan. Semak jenis penyambung, voltan, dan dimensi yang diperlukan. Pemanas ini akan berfungsi dengan lebih baik jika berada dalam persekitaran yang stabil dan menggunakan kuasa elektrik yang bersih. Jika terdapat fluktuasi voltan yang tinggi, pertimbangkan penggunaan penstabil voltan. Lakukan ujian awal untuk menentukan parameter pemanasan yang sesuai untuk bahan yang digunakan.