
为什么我们如此重视晶圆固化过程中的绝缘性能测试?
晶圆固化用的光源会释放出极高的热量。当这些光源被用于高端半导体设备中时,其反射器的作用可不仅仅是反射光线——它还是电路中的重要组成部分。 如果绝缘层出现故障,那么控制器很可能会损坏,更糟糕的是,整批晶圆也会报废。这无疑是任何人都不愿看到的噩梦。
为什么我们要对每一件产品进行测试?
我们不会采用“批量抽样”的方式,因为那样做无异于冒险。 抽样检测很可能无法发现那些石英管上微小的裂缝或电极上的污渍。因此,我们会对每一个光源和反射器组件进行耐压测试和绝缘电阻测试。没有例外。 具体的测试方法就是:给其施加远远高于实际使用环境中的电压,试图让产品出现故障。这样,如果有潜在的缺陷,也能够在我们的实验室里被发现,而不会在生产线上造成严重后果。我们还要检测是否存在可能导致加热元件与外壳之间产生电弧的泄漏电流。
如何应对高温问题?
高功率光源会在极小的空间内产生巨大的热量。 材料会因为高温而膨胀、变形。如果绝缘层无法承受这种变化,它的强度就会下降。因此,我们使用高纯度的材料,因为它们能在极高温度下仍然保持稳定性。 还有一个小贴士:确保设备的接地系统十分可靠。即便经过测试,如果接地不良,设备仍会产生“浮动电压”。长期下来,这会给光源的绝缘层带来不必要的压力。
安装要求的严格性
这些光源需要精确地安装在固化装置中。 其安装公差要求极为严格。也就是说,热源与设备框架之间的间隙几乎为零。 正因如此,在质量检测时,我们会优先考虑安全性,而不是速度。虽然这样会使每件产品的检测时间变长,但为了避免生产过程中因短路而导致的严重停机事故,这样的牺牲是值得的。