省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハ処理システムでの熱の無駄遣いをやめましょう。 標準的な赤外線ヒーターには問題があります。つまり、エネルギーが外部に漏れてしまうのです。エネルギーの多くが、本来の目的で使われる代わりに、装置の筐体の中に消えてしまいます。半導体製造においては、このような無駄は大きな問題です。 そのため、私たち...