停止浪费时间：为何红外加热比强制风冷更适用于晶圆加工 如果你曾在芯片制造厂工作过，那么一定体会过等待的痛苦。在半导体加工领域，人们正在逐渐放弃使用强制风冷方式，转而采用精确的红外加热技术。 归根结底，关键在于热量是如何传递到晶圆上的。强制风冷其实相当于一种对流式加热器——必须先让腔室内的每一立方英...

想想热空气的原理吧。首先需要加热空气，然后再等待这些热空气去加热工件。在半导体加工领域，这种等待过程实在是非常浪费时间的，会严重影响生产效率。 正因如此，我们才使用红外线发射器。与其让空气来传递热量，不如直接用辐射热来加热目标物体。这种方式效率更高。这也是为什么越来越多的高精度生产线选择使用红外线...

在光刻生产中，人们很快就会明白：温度并非一个可以忽视的细节——它其实是整个工艺流程中的关键因素。如果烘烤温度有哪怕1度的偏差，那么产品的尺寸控制就会出问题。而如果在边缘区域使用过高的温度进行烘烤，那么就会产生光阻残留物和边缘凸起现象，这些都会导致产品报废或需要返工。在涂覆/显影装置中，热性能并非只...