リソグラフィーの現場において、安定しないまたは急激な温度変動をするAFMヒーターは、単に測定上の問題だけではありません。それによって熱管理が乱れ、ウェーハが廃棄処分されてしまいます。私たちは、プロセスエンジニアが実際に必要とするように、安定した温度制御が可能で、再現性の高いヒーターを開発しました。また、クリーンルーム内での動作も問題なく、環境に悪影響を与えません。
技術的に重要なのは、何を正確に測定できるかという点です。このヒーターにより、ウェーハ全体の温度ばらつきは±0.1℃以内に抑えられます。そのため、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクのパラメータも、回を重ねても一定に保たれます。また、クリーンルームのクラス1～100の環境下でも問題なく動作し、粒子の発生もありません。これは、敏感な工程において歩留まりを維持する上で重要です。このヒーターは24時間365日稼働できるように設計されており、信頼性の高さから、生産時に予期せぬ停止が起こることはありません。温度の再現性も非常に高いため、校正や再校正の際に温度の変動を気にする必要もありません。
AFMの作業プロセスにおいて、温度の安定性はプローブとサンプルの相互作用や測定の再現性に直接影響します。当社のヒーターは、設定値を超えることなく温度を維持するため、材料の特性評価や欠陥検出の際にも安定した温度条件が得られます。その結果、再テストの回数が減り、サイクルタイムも短縮されます。また、ツールが温められるたびに性能が変わることもありません。効率性は、クリーンな熱伝達によってもたらされます。つまり、無駄な熱が少なくなり、ツール内部の冷却負荷も軽減されます。
注文する前には、機械的な形状や電気的なインターフェースをよく確認してください。コネクタの種類、電圧、寸法などを、自分が使用するAFMツールの仕様と照合してください。このヒーターは、安定した周囲環境とクリーンな電力供給の下で最適に動作します。もしラインに大きな電圧変動がある場合は、ローカルな電圧安定化装置を用意する必要があります。また、フォトレジストの特性に合ったベイクパラメータを決定するために、短時間の試運転を行うことを推奨します。