MEMSウエハの乾燥：なぜ赤外線を使用するのか MEMSセンサーを扱う際には、湿気を一切残さないことが不可欠です。しかし、強すぎる加熱を行うと、繊細な微細構造が壊れてしまいます。 長い間、私たちは単に熱風を当てる方法を用いてきました。しかし正直、これは効率が悪いのです。そのため、私たちは赤外線加熱...

なぜウェーハの硬化処理において誘電体試験が重要なのか ウェーハ硬化用のランプは、非常に高い温度にさらされます。これらのランプを高性能な半導体装置に使用すると、その反射器は単に光を反射するだけでなく、電気回路の重要な要素として機能します。 もし絶縁体に問題があれば、コントローラーが壊れたり、最悪の場...

時間の無駄をやめよう：ウェーハの加熱において、なぜ赤外線加熱が強制送風より優れているのか もし半導体製造工場で働いたことがあれば、待つという時間のロスがどれほどイライラするかがわかるでしょう。半導体加工では、熱風を使った加熱から、精密な赤外線加熱へと移行しています。 実際、重要なのは、熱がどのよう...

なぜウェーハ処理に赤外線硬化を採用するのか？ 正直に言って、誰も溶剤を使った乾燥処理や、面倒な化学触媒の使用を好みません。私たちの世界では、「環境に優しい」というのは、単なる宣伝文句ではありません。それは、私たちがツールを作る上での重要な要件です。だからこそ、赤外線硬化を利用するのです。赤外線は電...

ウェーハ処理システムでの熱の無駄遣いをやめましょう。 標準的な赤外線ヒーターには問題があります。つまり、エネルギーが外部に漏れてしまうのです。エネルギーの多くが、本来の目的で使われる代わりに、装置の筐体の中に消えてしまいます。半導体製造においては、このような無駄は大きな問題です。 そのため、私たち...

ツールを加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう ウェーハを加熱するときは、エネルギーが基板にだけ届くようにしなければなりません。他の場所にエネルギーが漏れ出してはいけません。 一般的な赤外線ランプの問題点は、エネルギーがあらゆる方向に散らばってしまうことです。これでは整理整頓が難しく、やがて...

コストの話を抜きにして考えましょう。ここで語られているのは、半導体ウェーハの酸化処理に使われる高価な輸入品に代わるものとして使える、国内で製造された赤外線加熱ランプのことです。 実際の問題は単純です。これらのランプは本当にその役割を果たせるのか？交換しただけで正常に動作するのか？ マーケティング上...

製造現場において、焼成工程は製品の歩留まりを左右する重要なステップです。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変わるだけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、加熱中に発生する微粒子がウェーハを損傷させる可能性もあります。そうした不安定要因を排除するために、私たちはウェーハを加熱する際の支持構造...